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氧化物

VO2薄膜材料

来源：广州昊诺实验室设备有限公司 发布日期：2019-05-05

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利用RF-oxygen MBE制备的VO2/Al2O3外延薄膜相变前后电阻变化率2~6万倍，2英寸大小，表面平整，性质均一，适合大口径红外探测器或者THz器件的制作。

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